摘要
半导体制造业是一个产品种类繁多，制造流程高度复杂，资金高
度密集的行业。加上市场竞争日趋激烈以及顾客需求的多样化，这就
对半导体制造提出了非常高的要求。一方面要求企业不断的提升研发
能力，设计出新的个性化产品满足不同客户的需求，另一方面要求企
业提高企业生产系统的柔性和产品质量，降低成本，缩短交货期。而
对半导体企业来说，最大的投资成本来源于数量众多的制造设备，如
何优化设备的产能则是降低成本最有效的手段。

本文结合实习项目“检测设备的调试优化决策及应用”，对检测
站点的产能进行优化，主要研究了以下内容：产能规划的流程，建立
优化模型优化设备调试决策，利用共用设备的产能分配进行产能优化，
制定合理的生产计划。制定出的调试计划和生产计划经实例验证具有
较好的效果，并对其他站点具有积极的借鉴意义。研究的重点在于通
过建立优化模型来对设备的调试计划进行优化，通过对共用设备的产
能实行合理分配，从而使检测站点不会成为瓶颈，满足生产管理要求。

本文的研究为半导体行业设备的调试决策提供了一种可行的优
化方法，实现了产能的优化。同时也为使用通用型设备的生产企业提
供一个如何优化产能，提高投资回报率的方法。

关键词：产能优化，设备维护，精益，生产计划