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电子级氢氟酸行业研究报告 2020年 简版
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目录1 电子级氢氟酸概况2 电子级氢氟酸产业分析3目录
电子级氢氟酸市场分析4 电子级氢氟酸企业分析5 行业发展趋势
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湿电子化学品
?电子级氢氟酸按大的品类来讲属于湿电子化学品。湿电子化学品为微电子、光电子湿法工
艺制程中使用的各种电子化工材料，是指主体成分纯度大于99.99%，杂质离子和微粒数符
合严格要求的化学试剂。
? 湿电子化学品根据组成成分和应用工艺不同，可以分为通用湿电子化学品和功能湿电子化
学品。按应用领域划分主要集中在半导体、平板显示、太阳能电池等多个领域。
通用湿电子化学品
酸
溶剂
碱
高纯湿
电子化
学品
清洗剂
等
稀释剂
剥离液
显影液
蚀刻液
功能性湿电子化学品
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湿电子化学品分级
?湿化学品的制备必须严格遵守国际半导体材料和设备组织（SEMI）的标准，SEMI根据应
用领域的不同制定了相应的超纯实际的要求等级，其中包含了对金属杂志、颗粒大小、颗
粒个数、适应IC线宽范围等指标做出了规定。G1等级属于低端产品，G2属于中低端，G3
属于中高端产品，G4和G5则属于高端产品。
?根据下游行业的技术要求，半导体制造工艺用湿电子化学品一般在G3 级以上。半导体产
业分为集成电路和分立器件两大分支，根据工艺流程主要分为芯片设计、前段晶圆制作和
后段封装测试。前段晶圆制作是整个半导体制造的核心工艺，而其中光刻和蚀刻技术是晶
圆制作的关键技术，其所需的湿电子化学品的技术要求非常之高通常达到G3，G4 级以上。
美国SEMI提出的工艺化学品的国际标准等级
SEMI标准 C1(Grade1) C7(Grade2) C8(Grade3)C12(Grade4) Grade5
金属杂质/(μg/L)
控制粒径/μm
≤100
≤1.0
≤25
≤10
≤0.5
≤1
≤0.5
≤0.1
≤0.2
≤0.01
需双方协定
需双方协定
0.09
颗粒个数/（个/mL）
适应IC线宽*范围/μm
≤25
≤5
需双方协定
0.09~0.2
＞1.2 0.8~1.2 0.2~0.6
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Source：《微电子工业对超净高纯化学品的质量要求》
电子级氢氟酸——概念、分级及应用
?电子级氢氟酸：无水氢氟酸或工业级氢氟酸通过精馏、超纯水吸收后纯化，并经0.2μm 以
下超滤等工序后，可制得高纯且超净的电。。。以下略