?? 中华人民共和国化工行业标准 ??—?? ????? ?? ?????????  言 ?? 本标准起草单位：浙江凯恒电子材料有限公司、福建省邵武市永飞化工有限公司、鹰鹏集团／宣城亨 泰化工科技有限公司、浙江蓝苏氟化有限公司、贵州省产品质量监督检验院、巨化集团技术中心、山东兴 氟新材料有限公司、上海哈勃化学技术有限公司、多氟多化工股份有限公司、中海油天津化工研究设计 院、国家无机盐产品质量监督检验中心。 本标准主要起草人：田志扬、赵晓亚、杜宏军、林益兴、施卫寅、钟宏波、周晓红、周鹏鹏、孙宏华、刘海 霞、郭风鑫。  本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级，要求，试验方法，检验规则，标志、标签，包装、运输和贮存及 本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本 ??化工产品采样总则 ??分析实验室用水规格和试验方法 ??数值修约规则与极限数值的表示和判定 ??．?藁??げ?坊?Х治鲇帽曜既芤骸⒅萍良爸破返闹票傅?部分：标准滴定 ??．?藁??げ?坊?Х治鲇帽曜既芤骸⒅萍良爸破返闹票傅?部分：杂质标准 分子式；? 相对分子质量：?．?????旯?氏喽栽?又柿? ?级：主要用于太阳能光伏电池及液晶显示器件的制造，以及作为生产其他高纯氟化物的原料 ?级：主要用于线宽为???～???集成电路的清洗与蚀刻； ?集成电路的清洗与蚀刻； ??外观：无色透明液体。  ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ ≤ 铝??????痥? ? ? ? ? ?  ??～??中规定的三 级水，试验中所用标准滴定溶液、杂质标准溶液、制剂及制品，在设有注明其他要求时，均按 ? ? ?疞。 ?水将试样转移至塑料杯中，加 用氯化钠与试样中氟硅酸反应生成不挥发的盐，蒸发除去氟化氢。在弱酸性介质中，加适量硼酸抑 制氟离子的干扰，加入钼酸铵与硅酸盐反应形成硅钼杂多酸?粕?，再加硫酸溶液和草酸溶液消除磷酸 ?处测量蓝色络合物的吸光度。 ??．??氯化钠溶液：? ?疞。 ??．??还原液 ?一氨基一?惠练右?磺酸，搅拌至溶解。 ??匮橇蛩崮迫苡???水中。 ??．??．?旌?．??．??和??．??．?街秩芤海?⑾∈椭?