为了保持行业的领先地位，ICD 公司一直不断的对生产设备进行升级和更新。
集成度越来越高的芯片对半导体生产设备的精度也提出越来越高的要求。如何确
保这些高精度的生产设备的持续稳定运作是 ICD 公司面临的一个重要挑战。
保持半导体生产设备高精度的稳定运行一个关键措施是建立持续有效，并与
生产形势匹配的校准管理系统。通过定期和有效的校准来管理生产设备的状态，
从而确保其高精度稳定运行的性能。反之，这些高精度的生产设备如果没有得到
有效的校准管理，那么很可能其生产出来的芯片可能会存在缺陷，从而造成相应
市场份额的缺失，以及给品牌带来严重的负面影响。
在过去的八年时间里，本文作者在 ICD 公司承担了生产设备校准系统的有关
管理工作。质量管理和时间管理对于设备校准系统至关重要。因此，本文主要聚
焦质量管理和时间管理两个方面的研究。
质量管理方面，针对近三年内部质量审核中发现设备校准系统的问题，经过
团队讨论和分析，运用鱼骨图法分别从人员、设备、方法、物料四个方面导出影
响设备校准系统质量的因素。然后运用头脑风暴分析方法，分别对人员、设备、
方法、物料四个方面进行研究，最后得出提高质量的实施策略和具体实施措施。
时间管理方面，针对目前校准系统在新产品引进的时间管理的现状及存在的
问题，运用现代项目时间管理的进度管理及控制技术，如计划评审技术 PERT，关
键路径法 CPM，以及运用甘特图 Gantt 等，对项目进度进行优化控制，并将其合
理运用在项目当中。最后通过研究，强调时间管理的提高对设备校准系统在质量
管理和成本节约上带来的提高。
关键词：设备校准系统，质量管理，时间管理
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