文本描述
?? 中华人民共和国建材行业标准 ? ??? ? ??—??给出的规则起草。 本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会??/???归口。 本标准负责起草单位:久智光电子材料科技有限公司。 本标准参加起草单位:中国建筑材料检验认证中心、中国建筑玻璃与工业玻璃协会。 本标准主要起草人:宋维宁、吴洁、王春玲、张锦。 本标准为首次发布。 ? 本标准规定了半导体用透明石英玻璃棒?韵录虺剖?⒉AО?的术语和定义、分类和标记、要求、 试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃棒。 冶金、化学工业用透明石英玻璃棒也可参照本标准执行。 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本??ㄋ?械男薷牡?适用于本文件。 ??石英玻璃化学成分分析方法 ?皇?⒉AО粢??? ???????籎?疶 ??规格尺寸及尺寸公差 单位为毫米 ? ? ? ? ? 量应不大于?.?×???渲校禾??坑Σ淮笥?.?×?一,钛含量应不大于????一,铜含量应不 ????℃下保温????糜????℃的空气中冷却,试验三次,不应出现裂 纹、缺口或崩落?小⒛タ诖π∮? ?????波长处热处理前、后的透射比变化平均值△丁应 ??规格尺寸及尺寸公差 ?的游标卡尺等量具进行测量。 公称直径所得代数差为直径上公差,最小值减公称直径所得代数差为直径下公差。同一截面上最大值减 最小值,其差值的最大值为椭圆度值。 ?的钢直尺或钢卷尺沿长度方向测量最短处和最长处。 ?的游标卡尺等量具进行测量。