中华人民共和国建材行业标准 ??? ??—?发布  ??—??给出的规则起草。 本标准由全国工业玻璃和特利，玻璃标准化技术委员会??／???归口。  半导体用透明石英玻璃器件 本标准规定了半导体用透咀石英玻璃器件的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、检 验规则以及标志、包装、运辅和贮存等。 本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃器件．包括透明石英玻璃扩散管、透明石英玻 璃舟、透明石英玻璃保温桶、透明石英托架、透明石英瓶和透明石英清洗缸等。 其他用遮的透明石英玻璃器件可参照率标准执行。 ?  采用分辨率不低于被测参数允许公差的三分之一的仪器或设备。 ??外观质量 将产品平放在干涉色为紫红色的应力仪视场中，移动或旋转试样，使视场中出现亮度最大的干涉色 观察试样各部位的颜色。 将水盛入磨口透明石英玻璃器件中，在不涂油脂的情况下，将塞塞紧，使水完全浸滴磨口，? 后，用滤纸擦拭，观察水液是否渗出。 ??检验项目 ??判定规则  ????? ? ? ? ?检验员编号。 产品在洁净环境下先单件包装，包装应满足防护、防尘的要求，避免产品的划伤、破损及污染。单 件包装后如需再集装时，包装也应满足防护、防尘的要求。产品包装随箱放入产品合格证及装箱单。装 箱单应注明数量或重量、装箱日期等。 ? 在运输及搬运过程中要注意轻拿轻放，应有防雨措施。 ?