摘要 传统的压力传感器多为压阻式、压容式传感器，虽然测量精度不低，但因为传 递的是电信号，容易受到外界电磁场的干扰，在强电磁干扰领域效果不佳。而光纤 压力传感器以光为传感信号，不受外界电磁场干扰，正好可以弥补这一缺点，是传 统压力传感技术的提高和补充。近几年来兴起的MOEMS传感器是当前研发的热点， 其既具有MEMS传感器的体积小、功能强大、灵敏度高和易于批量生产的优点，又 具有光纤传感器频带宽、动态测量范围大，易于组成分布式测量网点的特点，有望 解决传感器向微型化发展和批量生产时遇到的问题，适用于强电磁干扰、易燃易爆 等恶劣环境。但是，目前MOEMS传感器大部分仍处于理论设计和研发阶段，真正投 产达到商用的很少，并且灵敏度不高，性能不理想。 首先，报告在阐述微光纤压力传感器的发展和应用的基础上，简单介绍了关于 微光机电系统（MOEMS）的制造工艺，详细分析了几种光纤传感器的传感机理，并 对其基本结构和工作原理做了较为系统的研究。 其次，报告提出了一个基于迈克尔逊干涉原理的光纤MOEMS压力传感器模型， 设计了光纤MOEMS压力传感器的总体结构，包括传感器光源、传输光纤的选取，探 头的结构设计以及光电检测系统的构建，并且根据传感器探头核心部件——力敏硅 膜的特性，给出了膜片中心位移和所受压力的关系。 再次，利用有限元软件对所设计的MOEMS压力传感器的性能进行了数值模拟， 确定了力敏膜片几何参数对传感器性能的影响，重点讨论了膜片的几何参数与量程、 灵敏度、固有频率等传感器性能的关系。 最后，对系统的噪声进行分析，在此基础上，提出可能的解决方法。 报告对光纤MOEMS压力传感器的进一步研究有一定的指导意义。 关键词微光机电系统；光纤传感器；力敏硅膜；仿真设计；灵敏度；固有频率