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证券研究报告
行业研究/深度研究
2018年09月11日
机械设备 增持（维持）
章诚 执业证书编号：S0570515020001
研究员 021-28972071
zhangcheng@htsc
肖群稀 执业证书编号：S0570512070051
研究员 0755-82492802
xiaoqunxi@htsc
关东奇来 021-28972081
联系人 guandongqilai@htsc
黄波 0755-82493570
联系人 huangbo@htsc
时彧
联系人 shiyu013577@htsc
1《机械设备: 曲折中前行，看好国产龙头突
围》2018.09
2《机械设备: 油服行业景气回升 关注油气
产业链》2018.09
3《机械设备: 高景气延续，龙头厂商持续成
长》2018.09
资料来源：Wind
布局国产半导体设备的历史性机遇
半导体设备产业深度分析报告
国产半导体设备迎来历史性机遇，有望成为全市场优选投资主线
本土产能投资高涨+国家战略支持，半导体设备企业迎来重大机遇。我们认
为虽然中国或需较长时间才能出现世界一流半导体设备企业，但边际上的
成长和进步正在不断出现。国内测试设备、刻蚀设备、硅晶圆制造设备等
领域的细分龙头有望较快实现国产化突破并率先兑现业绩高增长，半导体
设备或是全市场优选投资主线之一，建议关注上述领域本土半导体设备细
分行业龙头
中国半导体产业迎来高速成长期，本土产能投资孕育全球最大设备市场
我们正在进入一个“智能连接未来”的时代，智能汽车、物联网、AI、服
务机器人等技术产业化有望催生庞大的芯片需求新蓝海。作为全球最大智
能终端制造和应用市场，中国本土芯片供给远远不足，产业短板明显。中
国目前正在步入芯片产能建设高峰，这即是经济考量下全球产能转移的大
势所趋，更是战略角度中国产业升级的势在必行。据我们梳理，18~20 年
中国大陆晶圆厂投资或将达7087 亿元（内资5303 亿元）；SEMI预测19
年中国大陆将超越韩国跃居世界第一大半导体设备市场，重塑全球格局
历次全球产业重心转移造就设备企业崛起契机，中国设备国产化空间广阔
17年底中国大陆半导体设备公司市值比重不足0.1%，对比美、日发展历
程，中国本土设备环节仍尚处于半导体产业崛起前的萌芽阶段。我们根据
中国大陆晶圆厂投资规模估算18~20 年晶圆加工设备合计空间或达4961
亿元（其中来自内资企业的设备空间3712 亿元），年均1654 亿元（其中
来自内资企业的设备空间1237亿元）；其中，预计18~20 年晶圆加工设
备的国产化空间分别为49、87、124 亿元
装备国产化将是半导体产业成败关键，最好的时代亦是最“坏”的时代
目前全球半导体设备产业仍由少数美、日、欧巨头垄断，中国严重依赖进
口，设备国产化作为产业发展自主可控的重要基石，势必成为中国半导体
产业崛起的必然道路。一方面，在芯片需求持续上升、本土产能投资扩张、
国家战略支持的大背景下，国产设备具备进口替代的“土壤”；但另一方面，
未来5 年或是本土半导体产能投增长最快的阶段，中外技术实力、企业体
量差距较为悬殊，留给国产设备企业的时间窗口其实不多，只有具备自主
核心技术的少数优秀企业才能脱颖而出，充分受益于本土产能投资高峰
测试设备、刻蚀设备、硅晶圆制造设备有望成为国产化前沿阵地
据我们近期产业链调研，未来1~2年国内设备需求旺盛，主要龙头企业订
单饱满，国产设备正处于“从0到1”的突破拐点，国产化趋势有望持续
推进，我们认为细分行业龙头企业将会更充分受益、也更具有投资价值
其中：1）技术难度相对较低领域，国产化突破较快，叠加产业整合因素，
19~20年业绩有望高增长，例如本土测试设备龙头、晶盛机电（硅片设备）
等；2）晶圆制造核心设备领域，国产设备确实存在较大差距，但核心变量
在于团队，有格局、重研发、有耐心的团队将有望获得国内外晶圆制造企
业的认可，例如上海中微半导体（刻蚀设备）、北方华创等
风险提示：宏观经济下行及半导体行业周期性波动，国内芯片制造技术突
破慢于预期、产业投资不及预期，国内半导体设备技术突破慢于预期
(30)
(19)
(8)15
17/0917/1118/0118/0318/0518/07
(%)
机械设备沪深300
一年内行业走势图
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行业评级：
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正文目录
半导体产业链格局：雄关漫道真如铁，而今迈步从头越 ... 4
中国半导体产业链渐趋完善，产业生态体系逐步成形 ........... 4
中国本土设备企业：机遇与挑战并存，最“坏”的时代亦是最好的时代 ........... 5
半导体工艺及设备解析——芯片是怎样“炼”成的？ ......... 9
硅片制造：点石成金的“沙子变形记” ........... 9
晶圆制造：打造强“芯”的千锤百炼 .......... 12
封装：万里长征的收尾之作 . 26
测试：贯穿各环节的“关键线索” .. 27
全球半导体市场行稳而致远，行业格局将强者恒强 ........ 32
技术趋势：摩尔定律有所放缓，工艺不断突破极限32
新兴蓝海：汽车电子、人工智能直通未来，驱动行业不断发展 ...... 33
全球市场：周期回暖+创新驱动，半导体行业有望进入稳健成长期 . 34
产品结构：2017年集成电路约占八成，存储器是销售规模增长的最大动因........... 35
地区分布：中国既是全球最大消费市场，也是全球最大进口市场 ... 37
产业趋势：投资不断攀高，行业日趋集中，业界强者恒强 .. 40
中国半导体产业迎来快速成长期，装备国产化是成败关键之一 .. 42
美日韩台接力全球产业重心，产业转移造就当代半导体及设备企业格局 .... 42
日本：政府+半导体企业合力突破设备环节，全球设备领先地位延续至今 ...... 43
韩国：借鉴日本发展经验，把握历史契机投入存储器制造实现赶超 ... 44
台湾：差异化竞争手段开辟新赛道，瞄准晶圆代工实现跨越发展 ....... 45
大势所趋+势在必行，中国有望承接半导体第三次产业重心转移 .... 46
大势所趋：庞大本土市场驱使投资向中国转移，全球消费重心或成制造重心 . 46
势在必行：从全球龙头企业产业分布，看中国发展芯片制造必要性 ... 47
垂直分工模式渐趋成熟，全球半导体格局涌现中国新锐 ..... 48
中国大陆晶圆厂、硅片厂建设步入高峰，设备国产化是产业崛起关键之一52
半导体设备国产化的市场空间展望.......... 54
2018年全球设备市场或创历史新高，中国市场成为全球增长新引擎 ......... 54
空间测算：2018、2019年中国大陆半导体设备市场有望达118、173美元 ........... 55
海外观察：全球顶尖半导体设备制造商的发展启示录..... 59
阿斯麦：独霸全球高端光刻机市场的科技巨兽 ........ 59
应用材料：纵横半导体核心设备的全球旗舰 ........... 66
泰瑞达：雄踞一方的半导体测试设备国际龙头 ........ 73
半导体设备国产化的可行性讨论及发展建议 ....... 77
政策支持+投资加码，中国当前半导体产业发展战略是明智之选 .... 77
国家、地方政策“组合拳”出台，税收减免扶持先进企业 ...... 77
大基金全方位布局本土产业链，投资加码助力本土企业腾飞 .. 81
合作与合资：或是应对海外核心技术封锁的未来路径之一 .. 84
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行业研究/深度研究 | 2018年09月11日
谨请参阅尾页重要声明及华泰证券股票和行业评级标准 3
前路漫长但具备国产化突破基础，设备企业步入高速成长期 .......... 86
投资策略：具备自主核心技术的本土设备制造商是价值投资优选 .......... 88
海外市场回眸：全球半导体股票的风云变幻 ........... 88
从市值比重看美日韩台产业兴衰，中国市场半导体市值比重远低于海外 ........ 88
业绩是驱动海外龙头市值成长的源动力，高毛利率是各环节龙头的共有特征 . 90
国内市场思考：半导体设备板块是主题投资还是价值投资？ .......... 96
投资策略：优选具备自主核心技术的本土设备制造商 ....... 101
国内半导体设备公司梳理 .......... 103
北方华创：产品体系丰富的晶圆制造设备企业 ...... 103
长川科技：深耕半导体测试设备的本土制造商 ...... 106
晶盛机电：国内领军的单晶硅生长炉制造商 ......... 107
中微半导体：潜力深远的中国半导体核心设备领先企业 ... 110
南京晶升能源：国内领先、国际先进的晶体生长设备企业111
盛美半导体：全球布局的半导体清洗设备制造商 .. 112
风险提示 ........... 113
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半导体产业链格局：雄关漫道真如铁，而今迈步从头越
中国半导体产业链渐趋完善，产业生态体系逐步成形
目前我国垂直分工模式的芯片产业链初步搭建成形，产业上中下游已然打通，涌现出一批
实力较强的代表性本土企业。集成电路是基础性、先导性产业，涉及国家信息安全，做大
做强集成电路产业已成为国家产业转型的战略先导。近年来，中国集成电路技术水平与国
际差距正在逐步缩小，产业已经进入快速发展的轨道。其中主要包括：1）以华为海思、
紫光展锐等为代表的芯片设计企业；2）以中芯国际、华虹半导体为代表的晶圆代工制造
企业；3）以长电科技、华天科技、通富微电为代表的芯片封测企业；4）采用IDM模式
的华润微电子、士兰微等。渐趋完整的产业生态体系为实现半导体设备的进口替代并解决
国内较大市场缺口提供了良好的基础
图表1： 半导体产业链一览
资料来源：SEMI，华泰证券研究所
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