单晶炉开.停机作业指导书
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B/0
2014-11-19
新版首次发行。

1.目的：
规范单晶炉的保养检修作业，以确保单晶炉得到应有的保养检修，使该类设备在生产中安全正常运行。

2.适用范围：
本操作指导书适用于所有单晶炉及辅肋设备。

3.定义：
无
4.职责：
4.1 保养作业根据具体内容由单晶车间炉台操作工或设备维修人员执行。

4.2 所有保养项目需记入设备保养表（*）
5.作业说明：
做任何检查前应首先确认有无触电、撞伤、夹伤、烫伤等各种危险，特别是在电源端子，真空泵、风机等处；必要时停止设备运行，甚至关闭水、电、气开关、阀门等做必要的安全防护措施。

5.1开机作业流程

5.1.1通知高压配电部门向所需工作设备送电，其中包括炉台冷却水泵、风淋塔车间及机房照明电和需开启的炉台，用万用表测量三相电压是否平衡，是否符合设备的额定工作电压。

5.1.2检查单晶炉冷却水也和真空泵冷却水池水位是否达到要求水位线，（不能低于水泵阀一米，最高不溢出水池为准），未达水位时，需通知环保部门补水。