超净车间各岗位操作标准
编号：ALC-PE-002
版本：A/2

编制人/日期：
审核人/日期：
批准人/日期：
2010-10-21发布2010-10-22实施

奥特斯维能源（太仓）有限公司 发布

文 件 制 修/ 订 记 录 表
制/修订日期
制/修订后版本号
制/修订内容
制/修订
人
审核人

01/07/2010
20/10/2010
28/06/2011
A/0
A/1
A/2
初次制定
8.15表格中的定义不清，稍作修改
8.1、8.2清洗机使用规范进行了更新，并加入了8.3弘易宝清洗机使用规范；8.6.1
陈龙
陈龙
刘玲玲
刘玲玲

需要培训部门：

会签部门

生
产
部
生
产
规划
部
工
艺
部
质
量
部
动
力
部
设
备
部
研
发
部
采
购
部
物
流
部
安
环
部
财
务
部
行
政
部
销
售
部
人
力
资
源
部

信
息
中心
企
管
部

组件部

1目的
明确超净车间操作人员的作业标准，确保清洗扩散工艺的稳定进行。

2范围
本标准适用于超净车间的所有工作人员，适用于清洗、扩散工艺过程。

3相关文件
无
4定义
无
5职责
为了使超净车间各工序操作能够按照标准化进行，明确规定了超净车间各岗的工艺操作权限。

5.1普通员工
无权对任何工艺参数进行修改与调整。

5.2操作员
5.2.1在工艺工程师授权的情况下才能对工艺参数进行调整，并在工艺更改记录单上详细记录更改内容和更改效果。在未经工艺工程师授权时不得更改、调节、删除任何设备的工艺参数。

5.2.2协助班组长对自己所操作机器的工艺参数进行监控，并填写司炉点检表。当发现工艺参数发生变化或机台报警时应及时通知班组长，由班组长通知工艺工程师，或者主操作直接通知工艺工程师。

5.2.3出现任何异常，请详细记录于异常记录单，并及时通知班组长，根据状况通知工艺或设备工程师。

5.2.4司炉人员不可更改进出舟速度，一律采用正常工艺中的舟速。

5.3班组长
5.3.1班组长应该严格要求本组员工按工艺要求进行生产，对其操作进行监督，杜绝违反工艺规定现象出现。

5.3.2当工艺工程师不在现场，且扩散后硅片的方块电阻出现异常时，生产班组长可以对扩散炉管源流量进行微调，并在工艺更改记录单上详细记录更改内容（如不记录，将视为误操作）。其他非工艺人员不可以对工艺进行更改。当对源流量进行微调无效