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GBT_32814-2016硅基MEMS制造技术_基于SOI硅片的MEMS工艺规范PDF  其他行标 设计研发标准 2022/5/19
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DBJ∕T_13-85-2016福建省LED夜景照明工程安装与质量验收规程PDF  地方标准 质量体系标准 2022/5/18