ICS91.140.70Q31ZZB浙 江 制 造 团 体 标 准T/ZZB 0497—2018声表面波器件用单晶晶片Single crystal wafers for surface acoustic wave device applications2018-08-31发布2018-09-30实施浙江省品牌建设联合会发布 T/ZZB 0497—2018目次前言 ................................................................................ II123456789范围 .............................................................................. 1规范性引用文件 .................................................................... 1术语和定义 ........................................................................ 1基本要求 .......................................................................... 2产品要求 .......................................................................... 3试验方法 .......................................................................... 6检验规则 .......................................................................... 8标志包装运输和储存 ............................................................ 9质量承诺 ......................................................................... 10附录A（规范性附录）压电单晶的欧拉角表示法.........................................11附录B（资料性附录）SAW晶片制作工艺............................................... 14附录C（规范性附录）测量方法.......................................................19IT/ZZB 0497—2018前言本标准依据GB/T 1.1—2009给出的规则起草请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任本标准由浙江省品牌建设联合会提出并归口本标准由浙江方圆检测集团股份有限公司牵头组织制定本标准主要起草单位：中电科技德清华莹电子有限公司本标准参与起草单位：浙江方圆检测集团股份有限公司中国电科第二十六研究所北京航天微电科技有限公司（排名不分先后）本标准主要起草人：卢明达黄顺民李勇岳高东崔坤贝伟斌胡少勤史向龙杭州明杨攀朱卫俊宋松林毅施旭霞本标准由浙江方圆检测集团股份有限公司负责解释IIT/ZZB 0497—2018声表面波器件用单晶晶片1范围本标准规定了单晶晶片的术语和定义基本要求产品要求试验方法检验规则标志包装运输和储存质量承诺本标准适用于人造石英（QZ）铌酸锂（LN）钽酸锂（LT）四硼酸锂（LBO）和硅酸镓镧（LGS）等单晶晶片这些单晶晶片用作声表面波(SAW)器件的基片材料2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文件凡是不注日期的引用文件其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件GB/T 3352人造石英晶体——规范与使用指南（MODIEC 60758:2004）GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：可接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划（IDTISO 28