ICS29.220K 83DB13河北省地方标准DB 13/T 1633—2012 太阳能级多晶硅片 The solar grade polysilicon wafers 2012-09-28发布2012-10-15实施河北省质量技术监督局发 布 DB13/T 1633—2012前言本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。本标准的术语与相关标准协调一致。本标准起草单位：英利集团有限公司。本标准主要起草人员： 高艳杰、王爱军、王亮。I DB13/T 1633—2012太阳能级多晶硅片1范围本标准规定了太阳能级多晶硅片的产品质量等级、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。本标准适用于太阳能级多晶硅片。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本文件。GB 50034-2004建筑照明设计标准GB/T 191包装储运图示标志GB/T 14141硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法GB/T 1553硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法GB/T 1557硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法GB/T 1558硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法GB/T 2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限（AQL）检索的逐批检验抽样计划GB/T 12963硅多晶GB/T 14264半导体材料术语GB/T 25074太阳能级多晶硅3定义GB/T 14264界定的以及以下术语和定义适用于本文件。3.1硅片厚度Wafer thickness硅片中心点厚度。3.2总厚度变化Total Thickness Variation（简称TTV）硅片厚度最大值与最小值之差。3.3角度Right Angle四边形硅片相邻两边长之间的夹角大小。3.4弯曲度Bending degree多晶硅片扣置在水平面上，硅片内曲面与水平面间的最大距离。1