? ? ? 中华人民共和国国家标准 气体中颗粒含量的测定 光散射法 ???—— ??????—????? ???篋?????? 牢瞀嚣紫瓣警矬瞥星发布  本部分由全国半导体设备和材料标准化技术委员会??／???提出。 本部分由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会??／? 本部分起草单位：上海计量测试技术研究院、西南化工研究设计院。 本部分主要起草人：陈鹰、周鹏云。  本部分规定了气体中颗粒含量测定的术语和定义、方法原理、仪器要求、试验步骤，校准和量值溯 源、结果计算和判别、报告。 件，其随后所有的修改单?话?n?蔽蟮哪谌?或修订版均不适用于本部分，然而，鼓励根据本部分达 协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本 ??尘埃粒子计数器计量控准规范 ? 每次测定时通过颗粒计数器的样品体积，以标准状态下立方米来表示?曜甲刺??℃，??× 粒度／颗粒直径??????／???????? 通过光散射颗粒计数器测定得到的光学当量直径。 ? 供需双方商定的或气体使用者规定的气体中颗粒物的最大颗粒直径。 光在行进过程中遇到粉体颗粒?习??时，将偏离原来的传播方向继续传播，这种现象被称为光的  散射或者衍射。颗粒尺寸越小，散射角越大；颗粒尺寸越大，散射角越小。光散射粒度仪就是根据光的 散射角度来测定颗粒的大小，根据散射强度来测定颗粒的数量。 ? 根据光散射原理设计的颗粒计数器，并满足下列要求： ?最小可检测粒径小于或等于规定粒径； 对于只能在大气压下工作的颗粒计数器，应用减压装置将管道内的气体减压至大气压。该装 置不应对气体内的颗粒起阻隔或积聚作用，更不应产生颗粒。推荐使用通过小孔使气体膨胀的减 压装置。 ??温度计 将颗粒计数器与干净的气源相连。气源应不古有等于或大于规定粒径的颗粒。推荐的气掠准备方 示值和样品体积，样品体积应换算成标准状态下的气体体积。 对于气体使用方的日常检测，取样点应位于管线系统的出口或用气点；而对于供需双方为确认气体 质量的检测，取样点应位于供方管线最末端的过滤器的下游并尽可能接近过滤器，连接仪器与取样点 的管线应尽可能的短，并确保系统无泄漏。 ?  —奇一 用洁净管道将颗粒计数器与管线上的取样点相连，保证其气密性。必要时在这之间加装减压装置， ? ??逯锌帕５暮?恳悦??????诘扔诨虼笥诠娑?＞兜目帕８鍪?幢硎荆?词??～式