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GBT 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
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资料大小：228KB(压缩后)
文档格式：WinRAR
资料语言：中文版/英文版/日文版
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更新时间：2017/8/17(发布于山东)
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文本描述
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